核心技術(shù)
高精度電源
真空系統(tǒng)
工藝菜單管理系統(tǒng)
高精度溫控系統(tǒng)
籽晶控制、隔離組件
突發(fā)情況處理組件
內(nèi)部平衡控制系統(tǒng)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
            自動(dòng)閉環(huán)控制
            歷史數(shù)據(jù)庫(kù)
            故障分級(jí)排除
            高穩(wěn)定熱場(chǎng)
            工藝菜單式管理
            精確溫度控制

解決問題
    手工操作
    成品率低
    一致性差
    位錯(cuò)密度大